四甲基硅烷

可由四氯硅烷或正硅酸乙酯与甲基碘化镁反应来制取。也可由氯甲烷和硅粉，在铜催化剂存在下反应而制取。在高温下反应然后仔细分馏制得。由于硅的电负性较低，对四个甲基上的氢原子影响较小，所以在核磁共振谱中能给出较强的信号和一个锐利的吸收峰，而其他一般有机化合物中的质子吸收峰都出现在它的左面。因此，在核磁共振谱中通常把TMS作为化学位移的内标，并把它的化学位移定为零。